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　　专利摘要显示◁▷△，本申请提供一种晶圆传送装置凯发K8国际娱乐官网△▪，用于在真空环境下传送晶圆凯发K8国际娱乐官网凯发K8国际娱乐官网★☆▼，包括◁=-▼◆：承托件☆☆☆△，所述承托件包括一体连接的承载部和柄部▽◁▲▷■，所述承载部用于承载晶圆◇△凯发K8国际娱乐中芯北方取得一种晶圆传送装置专利当晶圆传送，且所述承载部设置有多个连接孔•▼◆…；以及所述柄部用于连接动力装置▲-▲▼；支撑件◆△…□•▽凯发K8登录入口，，与所述承载部可拆卸式连接□□▷…★，所述支撑件的第一端插入所述连接孔内以及所述支撑件第二端的端面被配置与所述晶圆接触■▷★□。当所述晶圆传送装置与晶圆接触的区域发生磨损时…◆▽◇，可以通过快速替换的方式更新▽△装置与接触的区域发生磨损时可通过快速替换方式更新且无需校准，且无需对所述晶圆传送装置进行校准▷●。

　　金融界2024年12月20日消息●○◇▼，授权公告号 CN 222168354 U•▼-◆▷▪，国家知识产权局信息显示★◁▷●，中芯北方集成电路制造（北京）有限公司取得一项名为•△▪“一种晶圆传送装置◆=△▽”的专利☆■○，申请日期为 2024 年 3 月▲▷-。